반도체 제조 공정시스템
제품 개요
분류
반도체
제품명(한글)
반도체 제조 공정시스템
제품명(영문)
Semiconductor Manufacturing Process System
제품번호
FMS-SD-1
설명
반도체분야 제조시스템 연계성을 고려한 반도체제조공정시스템을 구축하여 요소기술에 대한 실험·실습, 교육·연구환경을 제공할 수 있는 공정시스템
제품 구성요소
| 분류 | 품명 | 수량 | 비고 |
|---|
| 1 | PECVD | 1 | |
| 2 | Wet-Station | 1 | |
| 3 | Mask Aligner | 1 | |
| 4 | Sputter | 1 |
제품 특징
내용
반도체분야 제조시스템 연계성을 고려한 주요공정 구성
반도체 산업현장설비 학습을 위한 실험·실습, 교육·연구환경 제공
반도체 제조 공정조건에 적합한 클린룸 환경 구축
4``,6``,8`` Wafer에 소자(MOSFET, DIODE 등) 제조
주요 키워드
반도체산업현장설비클린룸WaferMOSFETDIODE
