반도체 세정 공정 모듈
제품 개요
분류
반도체
제품명(한글)
반도체 세정 공정 모듈
제품명(영문)
Semiconductor Cleaning Process Module
제품번호
FMS-S5-PCTK24A2
설명
Semiconductor cleaning process module은 학습자가 직접 반도체공정 케미칼 배관에 대한 종합적인 운용실습(분해∙조립∙시운전)을 통해 반도체 제조 장비 제작 및 제어와 유지보수 기술을 종합적으로 학습할 수 있다.
제품 구성요소
| 분류 | 품명 | 수량 | 비고 |
|---|
| 1 | 반도체 세정 공정 모듈 | 1 | |
| 2 | 유지보수 및 검증 공구 | 1 |
제품 특징
내용
Dimension : 800mm(w) * 1100mm(D) * 1300mm(H)
구조 : 분해조립이 가능한 체결구조
원활한 교육훈련 운영을 위한 교육콘텐츠 포함
주요 키워드
반도체세정공정실습콘텐츠모듈형성형MFC가공