제품 개요

• 분류

  반도체

• 제품명(한글)

  반도체 진공 챔버 모듈

• 제품명(영문)

  Semiconductor Vacuum Chamber Module

• 제품번호

  FMS-S5-PCTK24A3

• 설명

  Semiconductor vacuum chamber module은 학습자가 직접 진공 & 플라 즈마에 대한 종합적인 운용실습(진공 설정, 플라즈마 생성)을 통해 반도체 제조 장비 제작 및 제어와 유지보수 기술을 종합적으로 학습할 수 있다.

제품 구성요소

제품 특징

• 내용

  Dimension : 800mm(w) * 1100mm(D) * 1300mm(H)

  
  

  구조 : 분해조립이 가능한 체결구조

  
  

  원활한 교육훈련 운영을 위한 교육콘텐츠 포함

• 주요 키워드

  진공플라즈마시운전모듈형기능점검동작테스트