제품 개요

• 분류

  반도체

• 제품명(한글)

  증발 증착 장비

• 제품명(영문)

  Thermal Evaporator

• 제품번호

  FMS-S5-PCTK24B4

• 설명

  Thermal evaporator은 학습자가 반도체 공정 간 요구되는 금속 증착을 통한 막 형성에 대한 종합적인 운용실습(장비운용, 막 형성)을 통해 반도체 제조공정 운용 및 개선 기술을 종합적으로 학습할 수 있다.

제품 구성요소

제품 특징

• 내용

  Dimension : 1000mm(w) * 1000mm(D) * 1400mm(H)

  
  

  Wafer Size : 4`` 이하

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  원활한 교육훈련 운영을 위한 교육콘텐츠 포함

• 주요 키워드

  반도체장비운용증발증착막형성웨이퍼