제품 개요

• 분류

  반도체

• 제품명(한글)

  습식 세정 장비

• 제품명(영문)

  Wet Station System

• 제품번호

  FMS-S5-PCTK24B7

• 설명

  Wet station system은 학습자가 반도체 공정 간 요구되는 Wafer 세정에 대한 종합적인 운용실습(장비운용, 공정수행)을 통해 반도체 제조공정 운용 및 개선 기술을 종합적으로 학습할 수 있다.

제품 구성요소

제품 특징

• 내용

  Dimension : 3100mm(w) * 1600mm(D) * 2300mm(H)

  
  

  구조 : 반도체 제조공정 실습 시 요구되는 Wafer 세정이 용이한 구조

  
  

  원활한 교육훈련 운영을 위한 교육콘텐츠 포함

• 주요 키워드

  반도체웨이퍼세정습식장비운용공정수행