제품 개요

• 분류

  반도체

• 제품명(한글)

  자외선 평행광 조사 시스템

• 제품명(영문)

  Mask Aligner System&Exposure System

• 제품번호

  FMS-S5-PCTK24B11

• 설명

  Mask aligner system&Exposure system은 학습자가 웨이퍼 위에 패턴을 형성하는 포토 공정에 대한 종합적인 운용실습(장비운용, 공정수행)을 통해 반도체 제조공정 운용 및 개선 기술을 종합적으로 학습할 수 있다.

제품 구성요소

제품 특징

• 내용

  Dimension : 1000mm(w) * 950mm(D) * 850mm(H)

  
  

  Wafer Size : 6`` 이하

  
  

  원활한 교육훈련 운영을 위한 교육콘텐츠 포함

• 주요 키워드

  반도체웨이퍼유브이포토공정패턴제조공정